Anwendung der Sievers 900 Serie TOC Analysatoren in der Mikroelektronik

In der Elektronik, Mikroelektronik und Halbleiterindustrie wird der Parameter TOC (Total Organic Carbon) über einen weiten Konzentrationsbereich bestimmt. Angefangen von Konzentrationen im ppm (parts per million) Bereich in Speisewasser bis zu Konzentrationen im niedrigen ppb (parts per billion) Bereich vor dem entgültigen Polieren, stellt die genaue Messung unterschiedlichster TOC Gehalte eine Herausforderung dar.

Das patentierte Sievers Messprinzip basierend auf konduktometrischer Detektion mit semipermeabler Membran bietet eine elegante Lösung. Die Sievers Technik besitzt den weitesten Messbereich (0,03 ppb bis 50 ppm1) aller TOC–Messgeräte. Sie verbindet höchste Messempfindlichkeit mit Resistenz gegenüber störenden Chemikalien und anderen Komponenten, welche schädlich für den Herstellungsprozess sind. In Kombination mit dem Turbomodus (mit nun erweitertem Messbereich von 0,20 ppb bis 10 ppm) zur optimalen Anwendung in der Wasserregeneration, liefert die Sievers 900 Serie die zuverlässigsten und schnellsten TOC Messungen in der Wasserregeneration.

Die Analysatoren der 900 Serie machen die Aufnahme der Messdaten und die Durchsicht der Messreports, auch von mehreren Nutzern, leichter denn je. Über die USB-Schnittstelle können Batchdateien aus dem System geladen werden, ohne die Messung zu unterbrechen oder Data Cards zu entfernen.

Anwendungen und Lösungen

Allgemeines Monitoring von Wassersystemen
Der unübertroffene analytische Messbereich der Sievers 900 Serie ermöglicht die Nutzung nur eines Analysators im ganzen Werk. Jeder Analysator der 900 Serie besitzt einen Messbereich von 0,03 ppb bis 50 ppm1  und bewältigt die anspruchvollsten Anwendungen. Wenn die automatische Reagenziendosierung eingestellt ist, wird der optimale Reagenzienfluss für jede Probe automatisch berechnet. Die patentierte Sievers Technologie basierend auf konduktometrischer Detektion mit semipermeabler Membran liefert unübertroffene Messgenauigkeit, selbst wenn Verbindungen im Wasser vorhanden sind, welche die Wirkungsweise und Funktionalität anderer TOC Messtechnik erheblich stören.

Regenerierungsüberwachung
Die patentierte Sievers Technologie basierend auf konduktometrischer Detektion mit semipermeabler Membran eliminiert vor der Detektion Verbindungen, welche die Messung stören. Verbindungen dieser Art werden im Bereich der Chipherstellung häufig eingesetzt. Die Turboanalysatoren der Sievers 900 Serie liefern die zuverlässigsten, schnellsten Messergebnisse zum Monitoring des Regenerationssystems. Durch die Generation eines aktuellen TOC Messergebnisses im Zeitintervall von 4 Sekunden, wird ein zeitnahes und zuverlässiges Monitoring gewährleistet. Die Geschwindigkeit und die Genauigkeit der Messung geben dem Nutzer ausreichend Zeit, um die notwendigen Entscheidungen zu treffen. Kontaminationen im Regenerationswasser können den gesamten Herstellungsprozess negativ beeinflussen.